XRF測(cè)試儀主要由激發(fā)源(X射線管)和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。

　　其原理就是：X射線管通過產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，來激發(fā)被測(cè)樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線(又叫X熒光)，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長。

　　然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。

　　用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(或能量)分開，分別測(cè)量不同波長(或能量)的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫XRF測(cè)試儀。

　　由于X熒光具有一定波長，同時(shí)又有一定能量，因此，XRF測(cè)試儀有兩種基本類型：波長色散型XRF測(cè)試儀和能量色散型XRF測(cè)試儀。